Accueil Technologie Meilleure position de mise au point

Meilleure position de mise au point



Raison

Les systèmes d'imagerie optique rencontreront des problèmes de focalisation. Selon le principe de l'optique géométrique, lorsque le plan image se déplace le long de l'axe optique près de la position du plan focal, dans une certaine plage, le cercle flou imagé est plus petit qu'un certain seuil et l'image formée à ce moment est toujours claire. Dans le but d'assurer la clarté, la distance mobile du plan image est la profondeur focale du système d'imagerie. Selon la théorie de l'optique appliquée, si la différence de chemin optique est inférieure ou égale à /4 (λ est la longueur d'onde), l'image du système est presque parfaite. Quel que soit le type de système d'imagerie optique doté d'un processus de mise au point ou de mise au point, le principe de l'imagerie à l'aide de dispositifs optiques ne limite qu'une seule meilleure position de mise au point.

Lorsque le système d'imagerie optique ne respecte pas la loi d'imagerie, l'image résultante est floue, c'est-à-dire que ce que l'on appelle "le flou" se produit, ce qui n'est pas souhaitable. Dans ce cas, la scène peut être imagée sur le plan focal du système en ajustant un ou plusieurs paramètres d'imagerie (tels que la distance focale, la distance de l'image et la distance de l'objet), afin d'obtenir une image nette et précise.

Le choix de la meilleure position de mise au point

De telles règles sont également suivies dans le processus de lithographie des circuits intégrés. La profondeur de champ est généralement déterminée par l'exposition à la matrice focale-énergie, mais comme l'effet de masque 3D devient de plus en plus évident (en dessous du nœud de 32 nm), cet effet provoquera le même masque. La meilleure valeur de mise au point est différente entre les différentes tailles de graphiques sur le moule. Par exemple, il existe un écart entre les meilleures valeurs de mise au point des lignes denses et des lignes indépendantes. Cela nécessite que le système d'exposition s'assure que tous les graphiques sur le masque se trouvent dans la plage de mise au point, c'est-à-dire que le système d'exposition doit avoir une profondeur de mise au point suffisante.

Cet article provient du réseau, ne représente pas la position de cette station. Veuillez indiquer l'origine de la réimpression
HAUT